一种激光干涉比长仪线纹瞄准系统及线纹间距测量方法.pdfVIP

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2023-05-11 发布于四川
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一种激光干涉比长仪线纹瞄准系统及线纹间距测量方法.pdf

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本发明涉及精密长度测量工具技术领域，具体涉及一种激光干涉比长仪线纹瞄准系统及线纹间距测量方法。包括位移装置、光电显微镜和光源模块，位移装置的上侧安装有可拆卸的被检线纹尺，光电显微镜在线纹尺的上方瞄准线纹尺，位移装置上设置有用于测量线纹尺位移数据的激光干涉仪靶镜，测量时干涉靶镜随位移装置移动，激光干涉仪同步读出位移数据。光电显微镜包括物镜、瞄准系统光路、上成像盒和下成像盒，上成像盒和下成像盒内分别设置有上成像暗室和下成像暗室，上成像暗室和下成像暗室内分别设置有第一光电探测元器件和第二光电探测元器件

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116086328 A (43)申请公布日 2023.05.09 (21)申请号 202310365001.5 (22)申请日 2023.04.07 (71)申请人中国测试技术研究院地址 610