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一种N型重掺锗单晶生长磷元素掺杂装置及方法.pdfVIP

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  • 2023-05-11 发布于四川
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一种N型重掺锗单晶生长磷元素掺杂装置及方法.pdf

    本发明公开了一种N型重掺锗单晶生长磷元素掺杂装置及方法，N型重掺锗单晶生长磷元掺杂装置，包括锗籽晶、锗铣磨片和锗盖板；锗籽晶包括支撑杆和支撑台，支撑杆垂直连接在支撑台顶部中央位置，支撑杆的直径小于支撑台的直径；锗铣磨片为锅形，锗铣磨片开口向上地设置，锗盖板活动盖设在锗铣磨片上；锗铣磨片底部中央设有第一通孔，锗盖板中央设有第二通孔，第一通孔的孔径小于支撑台的直径，支撑杆顶部依次穿过第一通孔和第二通孔后，锗铣磨片外侧底部落在支撑台上；锗籽晶、锗铣磨片和锗盖板所用材质均为锗，锗铣磨片内侧填充有红磷。本

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114574947 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202210211940.X (22)申请日 2022.03.04 (71)申请人 中锗科技有限公司 地址 21129

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