一种新型TOPCon硼扩散石英管装置.pdfVIP

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2023-05-11 发布于四川
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一种新型TOPCon硼扩散石英管装置.pdf

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本发明属于TOPCon电池技术领域，具体涉及一种新型TOPCon硼扩散石英管装置，包括外石英管和内石英管，所述外石英管的尾端设有一条外石英管尾气管，所述内石英管的尾端设有两条平行的内石英管尾气管，所述外石英管尾气管和内石英管尾气管位于同侧，所述外石英管套设于所述内石英管的外表面，并且所述外石英管的内表面与内石英管的外表面之间形成空腔状的中间气体区域。本发明大大提高了石英管的使用寿命，由3个月提升至6个月以上，提高了生产效率，降低了石英管破裂带来的成品不良率。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114566428 A (43)申请公布日 2022.05.31 (21)申请号 202210201135.9 (22)申请日 2022.03.03 (71)申请人江西中弘晶能科技有限公司地址 3