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氮化物外延层结构、氮化物外延片及制备方法.pdfVIP

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  • 2023-05-11 发布于四川
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氮化物外延层结构、氮化物外延片及制备方法.pdf

    本发明公开了一种氮化物外延层的制备方法，包括以下步骤：S1、提供一具有氮化物缓冲层的衬底；S2、通入不含氧前驱体源，在所述氮化物缓冲层上生长第一非掺杂氮化物层；S3关闭不含氧前驱体源，通入含氧前驱体源，在所述第一非掺杂氮化物层上生长含氧氮化物层；S4、关闭氮源，通入含氧前驱体源，进行热退火处理；S5、关闭含氧前驱体源，通入还原性气体对所述含氧氮化物层进行刻蚀处理以形成坑洞结构；S6、通入不含氧前驱体源，在刻蚀处理后的含氧氮化物层上生长第二非掺杂氮化物层，得到具有坑洞结构的氮化物外延层。本发明通过

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 114574960 B (45)授权公告日 2023.03.28 (21)申请号 202210169567.6 C30B 29/40 (2006.01)

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