一种激光感应阵列基板制备方法及显示装置.pdfVIP

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2023-05-11 发布于四川
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一种激光感应阵列基板制备方法及显示装置.pdf

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本申请实施例提供一种激光感应阵列基板制备方法及显示装置，包括：在衬底基板的表面通过沉积、蚀刻和显影工艺依次形成栅极、栅极绝缘层、有源层、欧姆接触层、源极、漏极、钝化层和像素电极，得到具有第一表面的第一阵列基板，所述第一阵列基板包括感应薄膜晶体管、时序薄膜晶体管和存储电容；在所述第一阵列基板的第一表面沉积遮光沉积层；采用掩模版对遮光沉积层进行曝光和显影处理，得到具有隔垫物与遮光层的激光感应阵列基板；本申请提供一种显示装置；本申请实施例提供的激光感应阵列基板能够防止玻璃盖板及异物压伤激光感应阵列基板

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112415825 A (43)申请公布日 2021.02.26 (21)申请号 202011254000.6 (22)申请日 2020.11.11 (71)申请人深圳市华星光电半导体显示技术有