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本发明提供一种能够抑制微粒的飞散的基板处理系统和基板输送方法。一实施方式的基板处理系统具备：承载件输送区域，其用于相对于基板处理装置输送收容基板的承载件；基板输送区域，其与所述承载件输送区域之间被分隔壁分隔开，该基板输送区域用于将收容于所述承载件的所述基板向处理炉输送；输送口，其形成于所述分隔壁，该输送口用于在所述承载件输送区域与所述基板输送区域之间输送所述基板；开闭门，其对所述输送口进行开闭；以及同压化部件，其使所述基板输送区域的压力与由所述承载件和所述开闭门包围的空间的压力大致同压。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 108428654 A
(43)申请公布日
2018.08.21
(21)申请号 20181
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