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本公开提供了反射薄膜结构及其制备方法,该反射薄膜结构包括:在基板上依次沉积的预设数量的反射薄膜单元;其中,每个反射薄膜单元至少包括:第一薄膜层和第二薄膜层,第一薄膜层和第二薄膜层均由相同的相变材料制成,第一薄膜层为相变材料的晶体态,第二薄膜层为相变材料的非晶体态,以使第一薄膜层的第一折射率和第二薄膜层的第二折射率不同。本实施例通过使用同种相变材料的沉积作为反射薄膜结构的基本层级,并改变其中一部分薄膜层级的晶相形态实现层级之间不同折射率的实现,在保证反射薄膜结构的反射效率的基础上,使反射薄膜结构在
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114552382 A
(43)申请公布日 2022.05.27
(21)申请号 202210152363.1 G02B 5/08 (2006.01)
(22)申请日 2022.02.1
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