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- 2023-05-11 发布于四川
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本申请公开了一种热式流量传感器及其制作方法，所述热式流量传感器包括：上游热敏元件和下游热敏元件，分立形成在基底的表面；加热电阻，形成在基底的表面并位于上游热敏元件和下游热敏元件之间，用于通电加热上游热敏元件和下游热敏元件；通孔，沿垂直于基底的表面的方向，形成在加热电阻中，以使加热电阻形成第一电阻和第二电阻，第一电阻位于加热电阻面向上游热敏元件的一端，第二电阻位于加热电阻面向下游热敏元件的一端，第一电阻和第二电阻对称且并联。本申请可以解决现有热式流量传感器因热量扩散不均匀而影响测量精度的问题，同时
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114577287 A
(43)申请公布日 2022.06.03
(21)申请号 202210202276.2
(22)申请日 2022.03.02
(71)申请人 无锡芯感智半导体有限公司
地址 2
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