激光强度均匀化装置.pdfVIP

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2023-05-11 发布于四川
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激光强度均匀化装置.pdf

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本发明提出一种激光强度均匀化装置，光源的出射光沿第一方向延伸并依次穿过准直扩束透镜、啁啾阵列透镜组件及聚焦透镜；透光介质朝向聚焦透镜的一侧具有第一安装面，透光介质朝向准直扩束透镜的一侧具有第二安装面；多个第一子透镜沿第二方向依次设置在第一安装面上；多个第二子透镜沿第二方向依次设置在第二安装面上；第二方向与第一方向垂直，透光介质在第一方向上的宽度朝第二方向呈渐缩设置。本发明技术方案采用啁啾阵列透镜组件的非周期性结构，抑制多光束干涉效应，提高平顶光束光强的均匀程度，更适用于相干性较强的光源普适性强。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116088188 A (43)申请公布日 2023.05.09 (21)申请号 202310363633.8 (22)申请日 2023.04.07 (71)申请人季华实验室地址 528200