一种高纯硅钨粉的制备方法.pdfVIP

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2023-05-11 发布于四川
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一种高纯硅钨粉的制备方法.pdf

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本发明涉及一种高纯硅钨粉的制备方法，为了解决传统的硅钨粉制备过程中容易生成二氧化硅以及高纯硅钨粉中氧含量不能有效降低等问题，本发明提供了一种高纯硅钨粉的制备方法。本发明以高纯钨粉、高纯硅粉为原料，经混合、高温烧结后制备得到高纯硅钨粉团聚体，然后经气破处理，制备得到分散性较好的高纯硅钨粉。采用本发明的高纯硅钨粉的制备方法，可以制备得到分散性更好的高纯硅钨粉，能够更好的满足高纯度钨硅靶材对高纯硅钨粉原料的需求，在电子栅门材料以及电子薄膜领域的应用市场非常广阔。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114535579 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202210256005.5 (22)申请日 2022.03.15 (71)申请人崇义章源钨业股份有限公司地址 3