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- 2023-05-11 发布于四川
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本发明公开一种改善玻璃和硅片腐蚀均匀性的装置及方法，属于玻璃与硅片加工处理技术领域，包括伺服电机，伺服电机电性连接有PLC控制器，伺服电机的输出端上设有主轴，主轴上连接有第一传动机构，第一传动机构上通过连接块连接有第二传动机构，第二传动机构的侧端设有外框架，外框架上通过第一旋转轴连接有产品夹持机构，产品夹持机构的另一端通过第二旋转轴与第二传动机构连接；本发明结构简单，通过产品夹持机构对产品进行固定，避免产品在翻转的时候发生位移，同时为了使得酸液均匀分布，在药液性质无法改变的前提下，通过不断改变产
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114582788 A
(43)申请公布日 2022.06.03
(21)申请号 202210167562.X
(22)申请日 2022.02.23
(71)申请人 苏州轩创科技有限公
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