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- 2023-05-11 发布于四川
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本发明公开一种CIS玻璃罩的减薄方法，包括以下步骤：S1、采用厚度大于500um的玻璃载板完成CIS晶圆的前段制程，然后于CIS晶圆的晶圆面涂布黏着剂，再将硅载板与晶圆面键合；S2、翻转CIS晶圆使玻璃面朝上，将玻璃面减薄到目标厚度；S3、将完成玻璃面的CIS晶圆翻转使硅载板一侧朝上，然后将玻璃面贴附在切割模框上，解键合移除晶圆面的硅载板；S4、完成后续的CIS晶圆切割即可。本发明在CIS晶圆的切割前通过晶圆面键合硅片载板进行支撑和保护，为玻璃面减薄提供应力缓冲，有效避免了玻璃面减薄时的裂片风险
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114573238 A
(43)申请公布日 2022.06.03
(21)申请号 202210168379.1
(22)申请日 2022.02.23
(71)申请人 苏州轩创科技有限公司
地址 江苏省
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