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本发明提供了一种柔性触觉传感器及其制作方法，该方法包括：S1，基于银、铜、金等金属纳米线制备柔性金属气凝胶，将金属气凝胶切割成待定尺寸；S2，将步骤S1所得金属气凝胶单体对位后放置在表面设计有焊盘结构和信号线路的基板表面，加热烧结，形成传感通路；S3，将步骤S2所得传感通路进行精密加工和表面处理，浸入液态有机高分子单体中，充分静置、填充，经加热固化得到触觉传感单元或阵列；形成一种具有高柔弹性，高灵敏度的柔性触觉传感器。相较于传统的以碳材料，金属粒子为导电基底的单一柔性触觉传感器，本发明制备的柔性
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112816111 A
(43)申请公布日 2021.05.18
(21)申请号 202011559268.0
(22)申请日 2020.12.25
(71)申请人 哈尔滨工业大学（深圳）
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