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本文公开了一种用于投影系统的控制系统，包括第一减法器，第一减法器接收输入驱动信号和反馈信号、并从中生成第一差信号，反馈信号指示投影系统的准静态微镜的位置。2型补偿器接收第一差信号并从中生成第一输出信号。基于导数的控制器接收反馈信号并从中生成第二输出信号。第二减法器接收第一和第二输出信号，并从中生成第二差信号。第二差信号用于控制投影系统的反射镜驱动器。高阶谐振均衡电路从接收来自投影系统前端接收指示准静态微镜位置的预输出信号，投影系统前端信号指示准静态的位置以及、并从中生成反馈信号。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114578546 A
(43)申请公布日 2022.06.03
(21)申请号 202111453537.X G03B 21/28 (2006.01)
(22)申请日 2021.12.
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