原创力文档- 2
- 0
- 约1.43万字
- 约 14页
- 2023-05-11 发布于四川
- 举报
本发明提供一种声表面波谐振器及其制造方法、以及声表面波滤波器，具有高品质因素Q、高机电耦合系数、良好的TCF特性和耐功率性。本发明的声表面波谐振器，包括：复合压电衬底，该复合压电衬底具有SiC基底层和形成在所述SiC基底层之上的ZnO压电层，该ZnO压电层由c轴择优取向的单晶ZnO形成；以及形成在所述ZnO压电层上的叉指电极。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114584098 A
(43)申请公布日 2022.06.03
(21)申请号 202210219585.0
(22)申请日 2022.03.08
(71)申请人 广东广纳芯科技有限公司
地址 51
文档评论（0）