一种宏微工作台.pdfVIP

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2023-05-11 发布于四川
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本申请公开了一种宏微工作台，包括工作台本体和设于工作台本体上的宏动台、微动台以及驱动宏动台移动的驱动组件，微动台包括一基座，基座上设有穿过基座的通槽，通槽将基座分为一动台体和一基座本体，通槽包括X向通槽和Y向通槽，Y向通槽将X向通槽围设在Y向通槽的内侧，X向通槽包括一组相对设置的第一U型槽与第二U型槽，Y向通槽包括相对设置的第三U型槽与第四U型槽，基座上设有沿X向延伸的第一凹槽和沿Y向延伸的第二凹槽，第一凹槽与第二凹槽内分别设有第一压电陶瓷与第二压电陶瓷，本申请的宏微工作台，通过设置X向与Y向的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 107644668 A (43)申请公布日 2018.01.30 (21)申请号 20171