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一种六振镜群孔加工装置及加工方法.pdfVIP

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  • 2023-05-11 发布于四川
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一种六振镜群孔加工装置及加工方法.pdf

    本发明公开了一种六振镜群孔加工装置及加工方法，该装置包括第一振镜组、第一聚焦透镜、第二聚焦透镜、第二振镜组及远心透镜，第一振镜组包括联动控制的X1振镜、Y1振镜、X2振镜及Y2振镜，第二振镜组包括X3振镜及Y3振镜，还包括可以调节焦距的焦点移动机构；X1振镜偏转实现光束在第一聚焦透镜X方向的偏移，X2振镜补偿X1振镜的偏转角度后实现光束在X方向的角度偏移，Y1振镜偏转实现光束在第一聚焦透镜Y方向的偏移，Y2振镜补偿Y1振镜的偏转角度后实现光束在Y方向的角度偏移。调节第二振镜组确定群孔中心位置后，

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113579518 A (43)申请公布日 2021.11.02 (21)申请号 202110852922.5 B23K 26/06 (2014.01)

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