激光的光斑直径测量方法与系统.pdfVIP

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2023-05-12 发布于四川
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激光的光斑直径测量方法与系统.pdf

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本发明公开了一种激光的光斑直径测量方法与系统，方法包括利用准直装置对激光光源的入射光进行反射，使反射光穿过光阑装置的通孔，利用光斑分析仪检查反射光经过通孔的衍射效果，调节准直装置，进行激光的光路准直；拆除光斑分析仪，在光斑分析仪的位置上安装功率计，利用功率计测量激光光源的反射光经过通孔的功率，记为第一功率；利用功率计测量拆除光阑装置后激光光源的反射光的功率，记为第二功率；将光阑装置的通孔半径、第一功率与第二功率代入高斯光束的功率透过率与通孔半径之间的关系式，计算得到激光光源的光斑半径，进而求出光

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116086333 A (43)申请公布日 2023.05.09 (21)申请号 202111314621.3 (22)申请日 2021.11.08 (71)申请人深圳市大族数控科技股份有限公司地