一种高占空比微透镜阵列的制作方法.pdfVIP

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2023-05-12 发布于北京
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一种高占空比微透镜阵列的制作方法.pdf

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本发明公开了一种高占空比微透镜阵列的制作方法，包括下列步骤：针对目标微透镜阵列的面形设计制作掩模板，在基片上涂布光刻胶，通过单次或多次掩模曝光获得多台阶结构，实时动态热熔，实现台阶结构流动成平滑曲面，制作出高占空比的微透镜阵列。本发明方法可以制作小口径的微透镜阵列，微透镜的口径范围为几微米到几十微米，可以制作任意排布的球面或非球面微透镜阵列，精确控制微透镜面形，微透镜阵列占空比接近百分之百。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114609705 A (43)申请公布日 2022.06.10 (21)申请号 202210219944.2 (22)申请日 2022.03.08 (71)申请人中国科学院重庆绿色智能技术研究