一种采用组合光阑的光刻方法.pdfVIP

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2023-05-12 发布于四川
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一种采用组合光阑的光刻方法.pdf

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本发明公开一种采用组合光阑的光刻方法，该方法包括如下步骤：设计所需的图形，并进行图形处理以形成图形位图；将图形位图生成n套数据文件；根据实际需求，确定光阑大小；将光阑分成k个子光阑文件；光刻，将n套数据文件与k个子光阑文件一一对应进行光刻，n＝k，其中，每次光刻前均完成一套数据文件与一个子光阑文件的对应。采用多套数据文件，对应多套子光阑文件嵌套光刻的方式对同一个光阑内进行光刻，使在一个光刻形成的子光阑文件内形成一个具有有不同角度或者周期的光栅组合，从而减少了边缘的锯齿，降低了数据量，提高了分辨率

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114609871 A (43)申请公布日 2022.06.10 (21)申请号 202011421768.8 (22)申请日 2020.12.08 (71)申请人苏州苏大维格科技集团股份有限公