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本申请涉及一种光波导耦合器及其制备方法。一种光波导耦合器,包括基片、高折射率波导以及低折射率波导。高折射率波导形成于基片上;高折射率波导包括依次连接且沿第一方向延伸的第一导波段和第二导波段;其中,在第一方向上,第二导波段的厚度逐渐减小。低折射率波导形成于基片上,且覆盖高折射率波导。其中,低折射率波导的折射率介于基片的隔离层和高折射率波导的折射率之间,且被配置为用于将光束从光纤传输至高折射率波导,第二导波段沿第二方向的尺寸大于预设值。第二导波段和低折射率波导的对准容差较高,可有效提高光波导耦合器的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114594547 A
(43)申请公布日 2022.06.07
(21)申请号 202210335051.4
(22)申请日 2022.03.31
(71)申请人 南开大学
地址 300071 天津
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