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执行器、机器人及基板转运方法.pdfVIP

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  • 2023-05-12 发布于四川
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执行器、机器人及基板转运方法.pdf

    本申请涉及本申请涉及执行器、机器人及基板转运方法，其中，执行器，包括：安装座；多个固持臂，多个固持臂均安装在安装座上，且至少两个固持臂具有第一距离和第二距离，第二距离大于第一距离，固持臂包括固持臂主体和固持结构，各固持臂主体上均设置有固持结构，以使单独的固持臂对目标物形成固持。本申请的技术方案有效地解决了现有技术中的基板由于变形而导致的损坏的问题。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114590595 A (43)申请公布日 2022.06.07 (21)申请号 202210406642.6 (22)申请日 2022.04.18 (71)申请人 京东方科技集团股份有限公司 地址

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