再生晶圆的制备方法及再生晶圆.pdfVIP

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2023-05-12 发布于四川
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再生晶圆的制备方法及再生晶圆.pdf

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本公开提供了一种再生晶圆的制备方法，其包括如下步骤：采用第一清洗剂对晶圆进行第一清洗处理，采用第二清洗剂对所述晶圆进行第二清洗处理，采用第三清洗剂对所述晶圆进行第三清洗处理，采用第四清洗剂对所述晶圆进行第四清洗处理，在对所述晶圆进行第四清洗处理时，使所述晶圆旋转，朝向旋转的所述晶圆表面喷淋所述第四清洗剂，并使得所述第四清洗剂在清洗过程中于所述晶圆表面形成液膜，所述第四清洗剂包括双氧水；采用第五清洗剂对所述晶圆进行第五清洗处理，在对所述晶圆进行第五清洗处理时，控制所述晶圆旋转，并且朝向所述晶圆表面

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116053114 A (43)申请公布日 2023.05.02 (21)申请号 202310096013.2 (22)申请日 2023.01.19 (71)申请人晶芯半导体（黄石）有限公司地址