原创力文档- 1
- 0
- 约9.69千字
- 约 10页
- 2023-05-12 发布于四川
- 举报
本发明涉及硅片去污机相关技术领域，具体为一种清洗机构，清洗机构包括清洗槽、龙门支架、液压组件、安装板、一级夹持机构、二级夹持机构，清洗槽固定在地面上，且清洗槽的后侧面设置有进液口和排液口，进液口和排液口的端口位置处均设置有阀门结构，龙门支架的横梁位于清洗槽的开口正上方；本发明通过设置由清洗槽、龙门支架、液压组件、安装板、一级夹持机构和二级夹持机构组合构成的清洗机构，从而通过一级夹持机构和二级夹持机构交替对硅片进行夹持定位，从而避免了单组夹具对硅片进行夹持时，会造成夹具的夹持位置无法实现清理的问题
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116093009 A
(43)申请公布日 2023.05.09
(21)申请号 202211622295.7
(22)申请日 2022.12.16
(71)申请人 苏州赛森电子科技有限公司
地址
您可能关注的文档
- 一种固定线管用的吸力件结构及其制备方法.pdf
- 一种闪烁液淬灭度评估方法.pdf
- 一种汽车车窗饰条抛光治具.pdf
- 一种层叠布置的多锅炉蒸汽母管用排气调节机构.pdf
- 一种触控面板、显示装置、以及驱动方法.pdf
- 一种熔断型避雷器组熔丝特性的确定方法、介质及系统.pdf
- 复合材料损伤分析方法、装置、设备及存储介质.pdf
- 一种振动图像生成方法、装置、电子设备及存储介质.pdf
- 液压系统中负载流量信号的标定校准方法.pdf
- 一种用于山地果园土壤的灌溉机及其使用方法.pdf
- 2026年中国商用厨房微波炉设备智能控温技术分析报告.docx
- 北京市育才学校2025-2026学年高一下学期期中考试数学试卷（含答案）.pdf
- 跨学科实践“制作简易杆秤”（教学设计）八年级物理下学期项目化课程案例.docx
- 跨学科实践“制作微型密度计”（教学设计）-八年级物理下学期项目化课程案例.docx
- 2026年旅游智能酒店客房管理系统报告.docx
- 北京市陈经纶中学2025-2026学年高一下学期贯通班期中考试数学试卷（含答案）.pdf
- 河北省廊坊市2024-2025学年高二年级上学期期末考试化学试卷2.pdf
- 2025年酒店人脸识别防盗技术报告.docx
- 2025年数字货币市场前景报告.docx
- 北京市陈经纶中学2025-2026学年下学期期中诊断高二年级数学试卷（含答案）.pdf
文档评论（0）