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基于石墨烯/铁硫化物异质结的过氧化氢传感器制备方法.pdfVIP

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  • 2023-05-12 发布于四川
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基于石墨烯/铁硫化物异质结的过氧化氢传感器制备方法.pdf

    本发明公开了一种基于石墨烯/铁硫化物异质结的过氧化氢传感器制备方法，通过化学气相沉积法，以蓝宝石为基底制备石墨烯，采用金属薄膜硫化法制备石墨烯/铁硫化物的二维异质结构，该异质结构作为自支撑传感电极，通过光刻、等离子体刻蚀等工艺直接实现传感器件的制备。本发明传感器对过氧化氢检测具备响应迅速、灵敏度高、检测限宽、稳定性好、选择性佳等优点，并且该传感器具有很好的工艺可控性和重复性，适合于批量化生产。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116046859 A (43)申请公布日 2023.05.02 (21)申请号 202310014045.3 C23C 14/18 (2006.01)

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