一种新型音叉晶体振荡片及其制造方法和压电器件.pdfVIP

下载本文档

0
0
约1.74万字
约 21页
2023-05-12 发布于四川
举报
版权申诉

一种新型音叉晶体振荡片及其制造方法和压电器件.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明提供了一种新型音叉晶体振荡片及其制造方法和压电器件，解决了现有技术中的音叉晶体振荡片具有高阻抗的缺陷，而阻抗过大会影响压电器件的Q值，进而影响频率的精度和增大能耗的技术问题。所述具有基部和从基部延伸出的一对振动臂（1），其特征在于，所述振动臂（1）的正面和反面沿着厚度方向均具有光刻腐蚀形成的台阶状沉槽，所述台阶状沉槽沿着振动臂（1）的长度方向光刻腐蚀；所述台阶状沉槽具有n级台阶，n级台阶是通过n次光刻腐蚀形成；其中，n为自然数，且n≥2；所述台阶状沉槽的外表面上均镀有电极。本发明制造的压电

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116094486 A (43)申请公布日 2023.05.09 (21)申请号 202211462516.9 (22)申请日 2022.11.21 (71)申请人成都泰美克晶体技术有限公司地址