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本发明提供了一种在不锈钢衬底表面镀制铬膜的方法和光学器件，涉及光学膜系技术领域。本发明提供的在不锈钢衬底表面镀制铬膜的方法包括以下步骤：采用磁控溅射在不锈钢衬底表面依次层叠沉积CrNO膜、CrN膜和Cr2O3膜；所述CrNO膜的厚度为所述磁控溅射沉积CrNO膜在Ar‑N2‑CO2混合气体气氛中进行，所述Ar、N2和CO2的气体流量比例为(5～6):1：1；所述Ar的气体流量为25～35sccm/s。本发明通过对CrNO膜膜层成分和厚度的设置促使膜层和金属不锈钢衬底紧密结合，确保光刻制图对精细度的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116043178 A
(43)申请公布日 2023.05.02
(21)申请号 202310098951.6 B82Y 40/00 (2011.01)
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