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本发明涉及反射率测定装置、成膜装置。用于防止反射率的测定精度降低。反射率测定装置具备：光源；投受光头，所述投受光头具备投光部、反射光输入部及修正光输入部，所述投光部向被测定物照射被输入到投受光头的来自光源的光所包含的第一光和第二光中的第一光，所述反射光输入部将第一光由被测定物反射后的反射光输入到第一线材，所述修正光输入部将第二光不照射到被测定物而输入到第二线材；测定构件，所述测定构件对经由第一线材传送的第三光的强度和经由第二线材传送的第四光的强度进行测定；以及确定构件，所述确定构件基于由测定构件
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116083874 A
(43)申请公布日 2023.05.09
(21)申请号 202211298857.7 G01N 21/55 (2014.01)
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