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本发明实施例公开了一种电容式检测装置及其检测方法，所述装置包括工控机、底座、XY轴驱动机构、真空机构，底座上设有吸盘机构，吸盘机构由吸盘腔和设于吸盘腔上的金属吸盘组成；真空机构连通吸盘腔；XY轴驱动机构对应设于底座上，XY轴驱动机构上对应设有探针驱动机构和CCD相机；所述探针驱动机构上设有测试探针，驱动测试探针沿Z轴方向上下运动；工控机连接真空机构、XY轴驱动机构、探针驱动机构和CCD相机。本发明可以快速的检测到PCB上线路是否有断开和线路短路，通过CCD自动对位，可移动式探针方式，可以快速精准
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114594368 A
(43)申请公布日 2022.06.07
(21)申请号 202210216757.9
(22)申请日 2022.03.07
(71)申请人 深圳市阳晶电子科技有限公司
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