一种制备氧化亚硅的设备.pdfVIP

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2023-05-12 发布于四川
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一种制备氧化亚硅的设备.pdf

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本发明提供一种制备氧化亚硅的设备，属于氧化亚硅制备技术领域，用于解决现有氧化亚硅的生产设备针对氧化亚硅生产的批次稳定很差，无法实现一炉体同工同时的量产工作，对行业的大量需求表现极弱的问题，该制备氧化亚硅的设备包括加热炉体、中转炉体、炉盖组件和收集装置，加热炉体、中转炉体和收集装置内均设置有加热系统，加热炉体通过抽真空接口与外部抽真空设备连接，加热炉体与中转炉体之间连接有隔热组件，中转炉体的另一端通过炉盖开合机构与炉盖组件连接，整个设备可在对氧化亚硅进行生产过程中，持续重复性对载料坩埚内进行原料的

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116086184 A (43)申请公布日 2023.05.09 (21)申请号 202211487788.4 F27B 14/10 (2006.01)