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本发明涉及一种用于生成多个基本上准直的带电粒子子束的装置和方法。该装置包括用于生成发散带电粒子束的带电粒子源、用于将所述带电粒子束拆分为带电粒子子束的阵列的分束器、包括偏转器的阵列的偏转器阵列，该偏转器的阵列包括针对所述带电粒子子束的阵列的每个带电粒子子束的一个偏转器，其中偏转器阵列被配置为用于基本上准直发散带电粒子子束的阵列。该装置还包括光束操纵设备，其被配置为用于至少在带电粒子源和偏转器阵列之间的区域中生成电场和/或磁场。该装置包括中心轴，并且该光束操纵设备被配置为生成基本上平行于中心轴和基
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114631163 A
(43)申请公布日 2022.06.14
(21)申请号 202080073321.8 (74)专利代理机构 上海专利商标事务所有限公
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