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籽晶的提拉机构及其使用方法.pdfVIP

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  • 2023-05-12 发布于四川
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籽晶的提拉机构及其使用方法.pdf

    本发明公开了一种籽晶的提拉机构及其使用方法，所述提拉机构包括：籽晶夹，籽晶夹用于固定籽晶；软轴，软轴下端连接籽晶夹，软轴构造成能够牵引籽晶夹旋转和升降；限位组件，限位组件为一个或环绕籽晶夹分布的多个，每个限位组件位于籽晶夹的水平一侧，限位组件构造成能够升降和绕软轴的旋转轴线旋转；其中，限位组件包括限位件，限位件具有可切换的伸出位置和回缩位置，在伸出位置限位件与籽晶夹之间的距离为第一距离，在回缩位置限位件与籽晶夹之间的距离为第二距离，第二距离大于第一距离，限位组件能够在籽晶夹晃动时将限位件伸至伸出

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114574952 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202210346375.8 (22)申请日 2022.03.31 (71)申请人 徐州鑫晶半导体科技有限公司 地址

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