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真空贴合装置.pdfVIP

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  • 2023-05-12 发布于四川
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真空贴合装置.pdf

    真空贴合装置具备：真空腔室，其在内部将第一构件与第二构件贴合；减压装置，其对真空腔室内的气压进行减压；第一工作台，其固定第一构件；第二工作台，其固定第二构件；多个驱动轴，其与第二工作台连接；工作台驱动部，其通过使多个驱动轴移动来使第二工作台的位置变化；以及位置测定部，其设置于真空腔室的外部，在多个部位测定第一工作台与第二工作台的间隔距离。工作台驱动部使用在减压装置使真空腔室内成为真空之前由位置测定部测定出的工作台的间隔距离的信息、以及在减压装置使真空腔室内成为真空之后由位置测定部测定出的工作台的

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114616612 A (43)申请公布日 2022.06.10 (21)申请号 201980101756.6 (51)Int.Cl.

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