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本公开提供一种探针卡装置及其测试设备。探针卡装置包括印刷电路板、空间转换器以及高速可挠性印刷电路。该印刷电路板包括多个第一连接体,耦接到一测试器;及多个第二连接体。该空间转换器包括多个连接体,设置在该空间转换器的第一表面上并耦接到该印刷电路板的该多个第二连接体;多个一般接触垫,设置在该空间转换器的第二表面上并与多个第一第一探针接触;及多个高速接触垫,设置在该空间转换器该第二表面上并与多个第二探针接触。该高速可挠性印刷电路具有第一连接端子,耦接到该测试器;以及第二连接端子,耦接到该多个高速接触垫。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116087574 A
(43)申请公布日 2023.05.09
(21)申请号 202111305453.1
(22)申请日 2021.11.05
(71)申请人 思达尔科技(武汉)有限公司
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