单线双线切割硅棒的方法、切割设备及切割系统.pdfVIP

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2023-05-12 发布于四川
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单线双线切割硅棒的方法、切割设备及切割系统.pdf

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本申请实施例提供一种单线双线切割硅棒的方法、切割设备及切割系统，其中，方法包括：通过一条切割线对硅棒进行切割，切割后形成第一侧面；通过一条切割线对硅棒进行切割，切割后形成与第一侧面垂直相交的第二侧面；通过两条切割线对硅棒进行切割，形成的第三侧面与第二侧面垂直相交，第四侧面与第一侧面垂直相交，得到横截面为矩形的方棒；通过至少一条切割线对方棒进行切割，得到至少两个横截面为矩形的小硅棒。本申请实施例提供的单线双线切割硅棒的方法能够直接得到尺寸较小的硅棒，经过切片形成硅片，满足对小尺寸硅片的要求，且能提

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114603730 A (43)申请公布日 2022.06.10 (21)申请号 202210421011.1 (22)申请日 2022.04.21 (71)申请人青岛高测科技股份有限公司地址 2