吸附装置和具有其的光刻设备.pdfVIP

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2023-05-12 发布于四川
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吸附装置和具有其的光刻设备.pdf

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本发明公开了一种吸附装置和具有其的光刻设备，包括：吸盘，吸盘设有相互连通的吸附腔、抽气孔和多个吸附孔，吸盘具有用于放置电路板的放置面，多个吸附孔贯通放置面，吸附腔通过至少一个吸附孔与外界空气连通，抽气孔贯通吸附腔的腔壁；至少一个分隔片，至少一个分隔片可转动地安装于吸盘且至少部分位于吸附腔内，分隔片在连通位置和分隔位置之间可转动，分隔片处于分隔位置时将吸附腔分隔为不连通的两个腔体，每个腔体与多个吸附孔中的部分连通，分隔片处于连通位置时允许两个腔体连通。根据本发明实施例的吸附装置能够根据电路板的尺寸

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114594663 A (43)申请公布日 2022.06.07 (21)申请号 202210317502.1 (22)申请日 2022.03.29 (71)申请人合肥芯碁微电子装备股份有限公司地址