用于高质量离子束形成的系统、设备和方法.pdfVIP

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2023-05-12 发布于北京
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与光束系统有关的系统、设备和方法的实施例。一种示例光束系统，包括：带电粒子源，其被配置为产生带电粒子束；预加速器系统，其被配置为加速光束；以及加速器，其被配置为加速来自预加速器系统的光束。预加速器系统可以使得光束在它从源传播到加速器的输入孔径时会聚。预加速器系统可以进一步减少或消除由从加速器朝向源行进的回流引起的源干扰或损坏。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114600561 A (43)申请公布日 2022.06.07 (21)申请号 202080061048.7 (71)申请人 TAE技术公司