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1.扫描俄歇微探针（SAM ）；
基本功能：
（1）可进行样品表面的微区选点分析（包括点分析，线分析和面分析）；
（2 ）可进行深度分析；
（3 ）化学价态研究
用途：纳米薄膜材料，微电子材料的表面和界面研究及摩擦化学研究。
2.X 射线光电子能谱（XPS ）
基本功能：
（1）样品的表面组成分析，化学状态分析，取样深度为～3 nm；
（2 ）元素成分的深度分析（角分辨方式和氩离子刻蚀方式）；
（3 ）可进行样品的原位处理；
用途：纳米薄膜材料，微电子材料, 催化剂，摩擦化学，高分子材
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