电极触点的加工方法及植入式电极.pdfVIP

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2023-05-12 发布于北京
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电极触点的加工方法及植入式电极.pdf

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本申请提供了电极触点的加工方法及植入式电极。电极触点的加工方法包括通过激光直写技术在触点基体的表面进行线扫描，加工出层级结构，形成具有层级结构的电极触点。层级结构包括沟槽和附着于沟槽的微纳颗粒。激光为脉冲宽度小于10皮秒的激光，激光的扫描线间距为Δx，激光单次线扫描的烧蚀宽度为W，满足Δx≤0.5×W。本申请提供的植入式电极除了包括上述电极触点，还包括：导线；套管或涂层，套管或涂层设置于导线的外侧；以及密封部，密封部设置于电极触点的层级结构以外的部位。本申请通过激光直写技术烧蚀电极触点，加工出具

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114602059 A (43)申请公布日 2022.06.10 (21)申请号 202210225432.7 (22)申请日 2022.03.09 (71)申请人清华大学地址 100084 北京