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原材料供给单元、包含其的单晶硅锭料生长设备以及原材料供给方法.pdfVIP

原材料供给单元、包含其的单晶硅锭料生长设备以及原材料供给方法.pdf

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    提供了一种原材料供给单元，其包括：具有填充原材料的空间的主体；在纵向方向上将主体分成至少两个区域的分隔物；分别设置在被分隔物分开的主体相应区域中的至少两个阀，从而打开/闭合主体的靠下部分；以及用于使各阀独立于彼此在纵向方向上提升的驱动单元。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114599825 A (43)申请公布日 2022.06.07 (21)申请号 202080074412.3 (74)专利代理机构 上海专利商标事务所有限公

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