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披露了一种用于在衬底的包括目标结构的至少一部分的区域上进行量测测量的方法。所述方法包括:接收表示由所述区域所散射的辐射的一部分的辐射信息;以及在傅里叶域中使用滤波器以用于移除或抑制所接收的辐射信息的、与已由所述目标结构散射的辐射不相关的至少一部分,以用于获得用于所述量测测量的经滤波的辐射信息,其中所述滤波器的特性基于与所述目标结构相关的目标信息。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114667446 A
(43)申请公布日 2022.06.24
(21)申请号 202080065378.3 N ·梅塔 帕特里克 ·华纳
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