无PAG的正型化学增幅抗蚀剂组合物及使用其的方法.pdfVIP

下载本文档

1
0
约7.57万字
约 61页
2023-05-13 发布于四川
举报
版权申诉

无PAG的正型化学增幅抗蚀剂组合物及使用其的方法.pdf

1、本文档共61页，其中可免费阅读60页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

所公开的主题涉及包含酚系树脂组分、光敏性2,1,5‑重氮基萘醌磺酸酯组分(PAC)、溶剂组分的抗蚀剂组合物,其不包括或不需要使用添加的光致产酸剂(PAG)。PAC为游离的PAC、偶合的PAC(PACb)或其组合,其包括经取代或未经取代的2,1,5‑DNQ材料或其上附接经取代或未经取代的2,1,5‑DNQ材料的化合物,其在UV曝光时不形成磺酸。酚系树脂组分为酚醛清漆衍生物，其中游离羟基中的一些或全部用可包括PACb部分的酸可裂解缩醛部分保护。所公开的主题还涉及在厚膜或薄膜光致抗蚀剂器件制造方法中使

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114667486 A (43)申请公布日 2022.06.24 (21)申请号 202080078107.1 (74)专利代理机构中国贸促会专利商标事务所