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一种光学物镜轴向色差检测方法、系统及半导体设备.pdfVIP

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  • 2023-05-13 发布于四川
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一种光学物镜轴向色差检测方法、系统及半导体设备.pdf

    本发明提供了一种光学物镜轴向色差检测方法、系统及半导体设备，该方法包括：基于宽光谱光源分别产生若干不同波长λm照明光并将不同波长λm照明光垂直入射至位于运动台上的标定片，其中，m为正整数；通过光学物镜搜集自标定片表面的反射光并将反射光投射至成像单元；获取不同波长λm照明光下标定片表面图案的清晰图像，并确定清晰图像生成时运动台与Z轴方向的位置基于多个Z轴方向的位置其中，Z轴方向为光学物镜的中心轴方向，且光学物镜的中心轴与运动台垂直，计算的最大值及其最小值的差值，以确定光学物镜轴向色差。通过本发明，

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114739636 A (43)申请公布日 2022.07.12 (21)申请号 202210196153.2 (22)申请日 2022.03.01 (71)申请人 上海精积微半导体技术有限公司 地址

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