一种用于晶圆保护膜的UV固化输送辊及其制备方法.pdfVIP

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2023-05-13 发布于四川
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一种用于晶圆保护膜的UV固化输送辊及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种用于晶圆保护膜的UV固化输送辊，UV固化输送辊安装于晶圆保护膜的涂布生产的收卷输送线，UV固化输送辊的外侧面与晶圆保护膜的一面接触，UV固化输送辊包括圆辊本体、紫外线光源、端盖板和转轴；圆辊本体为中空的圆柱形的玻璃体，圆辊本体的前后两端均安装有端盖板，两个转轴分别垂直地安装于两个端盖板的中心处，转轴的一端与端盖板的外露的板面相抵，紫外线光源安装于圆辊本体内，紫外线光源发出的紫外线光可促使晶圆保护膜的表面涂布有的胶粘层的粘合剂快速固化，从而可免去卷收后的晶圆保护膜需要再另外进行固化

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114632681 A (43)申请公布日 2022.06.17 (21)申请号 202210335209.8 C03C 17/00 (2006.01)