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一种制作脆性基板的方法,包括以下步骤:(i)将基板的至少到深度d的至少部分加热至温度Tp,该温度Tp高于500℃但低于1500℃,以形成基板的经加热区域;以及(ii)用从IR激光器发射的激光束照射脆性基板的经加热区域的至少部分,以在脆性基板中形成至少一个孔。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114667197 A
(43)申请公布日 2022.06.24
(21)申请号 202080077096.5 (74)专利代理机构 上海专利商标事务所有限公
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