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本公开的一个或多个实施例阐述一种人工智能辅助衬底缺陷修复装置及方法。人工智能辅助缺陷修复装置采用物体检测算法。基于由位于不同相应位置处的检测器获取的多个图像，检测器捕获包括缺陷的物体的各种图。基于所述多个图像获得缺陷及物体的组成信息以及形态信息(例如，形状、大小、位置、高度、深度、宽度、长度或类似信息)。物体检测算法分析图像且确定缺陷的类型，且推荐用于修补缺陷的材料(例如，刻蚀气体)及相关联信息(例如，刻蚀气体的供应时间、刻蚀气体的流动速率等)。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114660893 A
(43)申请公布日 2022.06.24
(21)申请号 202210030504.2 G03F 1/84 (2012.01)
(22)申请日 2022.01.1
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