一种原子层热电堆热流传感器及其批量制备方法.pdfVIP

下载本文档

2
0
约1.01万字
约 12页
2023-05-13 发布于四川
举报
版权申诉

一种原子层热电堆热流传感器及其批量制备方法.pdf

1、本文档共12页，其中可免费阅读11页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明属于热流传感器领域，具体涉及一种原子层热电堆热流传感器及其批量制备方法。本发明提出的原子层热电堆热流传感器稳定性好；批量制备技术设计思路简单易行，在一英寸以上大面积的倾斜单晶基底上，通过特殊的图形化结构设计，一次性可批量生产上千个小型ALTP热流传感器，易于工业化大批量生产，大大提高工作效率，降低了成本。同时，可切割出包含2m、nm等根功能层线条的阵列样品，便于在测试时，根据不同需求选择不同个数样品进行测试，能够有效应对大热流场的测量需求应用场景，便于形成集成传感器芯片模块，充分发挥微系统

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114639768 A (43)申请公布日 2022.06.17 (21)申请号 202210286974.5 G01K 17/00 (2006.01)