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公开了用于光子组件设计的配置和用于减轻其相干噪声的方法。光子组件可包括一组光源、光学子系统和漫射元件，该光学子系统可包括一组光学元件。由该组光源发射的光可为不同波长，并且该光可在由该组光学元件接收之前被相移器解相干。该漫射元件可为可移动的并且可能能够针对由该组光源发射的每个光束重复相同位置或位置组。通过组合可移动漫射元件和解相干光的相干噪声减轻技术，光子系统可在样本上提供具有特定空间分布和角分布的照明分布，该照明分布允许该样本的可靠测量和相干噪声减轻。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116057454 A
(43)申请公布日 2023.05.02
(21)申请号 202180061797.4 (74)专利代理机构 中国贸促会专利商标事务所
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