收纳装置、曝光装置以及物品制造方法.pdfVIP

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2023-05-13 发布于四川
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收纳装置、曝光装置以及物品制造方法.pdf

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本发明提供收纳装置、曝光装置以及物品制造方法。收纳装置收纳包括形成有图案的图案面的原版，并具有：第1供给部，以形成沿着原版的与图案面相反侧的第1面的第1气流及沿着保护构件的与图案面侧相反侧的第2面的第2气流中的至少一方气流的方式吹出并供给气体，保护构件与图案面分离设置并保护图案面；第2供给部，以形成与由第1供给部形成的至少一方气流干涉的第3气流的方式吹出并供给气体；以及构件，包括与从第2供给部吹出的气体的吹出方向交叉并用于接受由第2供给部形成的第3气流的接受面，第1供给部以用于搬送原版的搬送口为

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114637168 A (43)申请公布日 2022.06.17 (21)申请号 202111494648.5 (22)申请日 2021.12.09 (30)优先权数据 2020-208629 202