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本申请案的实施例涉及栅极与有源区域之间的晶体管界面。公开包含有源区域的结构的半导体装置。根据本公开的实例半导体装置包含衬底、所述衬底上的层及所述层上的电介质层。所述层包含与所述电介质层接触的界面。所述界面包含所述层的表面上的第一部分及垂直于所述第一部分的第二部分。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114649298 A
(43)申请公布日 2022.06.21
(21)申请号 202111245904.7
(22)申请日 2021.10.26
(30)优先权数据
17/129,760 2020
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